工具显微镜的主要技术指标和规格以及主要用途
测量范围:
X向行程:200㎜ 圆工作台直径:φ213㎜
Y向行程:100㎜ 平工作台尺寸(㎜):260×270
测角目镜角度分划范围:360° 顶针间的最大夹紧长度:700㎜
螺纹轮廓目镜角度分划范围:±7° 顶针间能容纳的最大直径:φ100㎜
圆工作台角度分划范围:0°~360° 高顶针架最大夹紧长度:200㎜
圆分度头角度分划范围:0°~360° 高顶针架能容纳的最大直径:φ250㎜
主显微镜立柱的倾斜范围:±12° 干涉狭缝旋转范围:±90°
分度值:X、Y向分度值:0.0002㎜ 圆工作台角度分度值:30″
测角目镜角度分度值:1′ 圆分度头角度分度值:1′
轮廓目镜角度分度值:±12 主显微镜立柱倾斜角度分度值:30′
测量准确度(被测件与仪器温度差别不大于0.5℃,仪器室内温度20℃±1℃):
(1+L/100)μm,其中L为测量长度,单位:㎜ 光学定位器的主要技术参数:
测杆垂直方向摆动范围:±3° 定位变动性:<1μm
孔径大于5㎜时,可测孔的最大深度:≈15㎜ 测力(N):0.1±0.03