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本文标题："表面光洁度测定仪器-自动式轮廓测量仪的原理"

发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------ 人浏览过-----时间：2014-4-9 17:5:57

表面光洁度测定仪器-自动式轮廓测量仪的原理

检查表面光洁度显微干涉仪

我们讨论了利用光的干涉检查表面质量的方法。在那里的讨论中，
表面质量一词是指表面上局部缺陷的存在，几何形状的偏离，以及几
何尺寸（如球而半径）的准确程度等。这都属于表面的宏观几何形状
方面的状况。除此之外，反映一个表面（特别是金属零件的表面）在
加工后的状况的，还有它的光滑程度。

因为在加工过程中，切削刀具或磨具不可避免地要留下痕迹，在
表面上形成细微的起伏轮廓，起伏越小，表面越光滑。在机械制造业
中，表面的光滑程度是用表面光洁度来表明的，

表面光洁度的检查方法有多种。有的是与已知光洁度等级的样板
作比较，靠肉眼或放大镜或显微镜对光洁度作出主观估计。

此外，对于等级较商的光洁度，细微起伏的值常只有十分之几甚
至百分之几微米，机械方法便不够精确了。要在检查时不与表面作机
械的直接接触以及对高等级光洁度作出可信的估计，必须应用光学方
法，特别是光的千涉的方法。在精密的工作中，可使用专为检查表面
光洁度而设计的干涉仪

现代光学仪器工厂，在制造高质量的棱镜和透镜等光学元件时，
常需要对加工的元件进行象差的检查与测量，以便作进一步加工。检
查的方法也多利用光的干涉，使用泰曼- 格林干涉仪。这种千涉仪也
是从迈克耳孙干涉仪演变出来的。

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