本文标题："集成电路检测分析用的立体显微镜制造厂商及型号"
发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------
人浏览过-----时间：2014-6-2 5:11:33
集成电路检测分析用的立体显微镜制造厂商及型号
然而，利用入射光时，为了易于暗场照明.必须利用配备有环状聚光镜的物镜或利
用包含与光路中心相一致的暗场光阑的物镜。因此，暗场照明要求专用于暗场显微术
的专用物镜(前面提到的Leitz WetzlarTM L 50 X /0. 60 NA DF属于暗场物镜，DF表
示暗场)。
要讨论的最后一项技术楚干涉反差照明技术。干涉反差照明的专用形式是诺马
尔斯基(Nomarski )差动干涉反差照明(DIC)。这项技术十分受集成电路分析入员欢
迎，因为利用这项技术时很细微的细节都变得非常明显。有时，它也会表现出表面凸
起。同暗场照明一样，干涉反差照明需要特殊的显微链设备和转换器，用于构成每台
显微镜的专用装置都委托显微镜制造完成。
集成电路故障分析技术显微镜制造厂
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