本文标题："光学轮廓仪型号及精度-电动测量工具显微镜"
发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------
人浏览过-----时间：2014-11-11 17:26:29
光学轮廓仪型号及精度-电动测量工具显微镜
共焦显微镜 共焦显微镜是商用化最成功的一个光学聚集传
感系统，最早用来进行生物样品的检测，在工程表面的测量上也
得到了应用。
干涉型光学轮廓仪
（1）双波长和多波长干涉测量最早的干涉型光学轮廓仪使用的
是单色光照明，同时使用了相移技术。使用相移技术获得最高测量
粘度，但是单色照明却限制了测量的范围。为了能够扩大测量范围
。进一步发展了双波长和多波长技术。如今双波长和多波长干涉测
量原理还在全息和散斑技术是使用，用来测量大口径元件，其间用
到了条纹投影和结构光技术。
（2）白光干涉测量 白光干涉测量系统早已确立为用于工程表
面测量的主导学轮廓仪。白光干涉测量可以看做一种光学聚焦传感
器。干涉信号的位置确定了最佳焦点，这类设备的典型结构是由一
个传统的显微镜配备一个干涉物镜组成，这种干涉测量技术上比其
他光学和探针轮廓技术而言，其优势在于进行会场扫描而非点到点
的扫描。由于整个面积的成像是同时完成的，横向扫描变得不再必
要，这也极大地提高了测量速度。
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