本文标题："TEM电子显微镜样品测量面积是极小的-光学仪器常识"
发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------
人浏览过-----时间：2014-12-22 17:39:45
TEM电子显微镜样品测量面积是极小的
在分析TEM样品时，必须懂得测量面积是极小的，因此，
测量结果末必能代表整块试样，应当采用尽可能低的放大倍
数而是要许多位置上随机地选择试验区域。用复型测定没有
大的问题。应用的方法同反射光的光学显微镜方法也一样，
除非是由于用了很高的放大倍数而使测量面积很小影响统计
学的测量精度。
SEM具有光学显微镜和大部分TEM所复盖的放大倍数的范围
，但制样方法和光学显微镜一样，虽然对SEM观察时，为改
善图象反差，常常把试样浸蚀得深一些，但是使用现代化的
仪器则不一定有深浸蚀的必要。对于高倍下的测量要得到最
好的精确度，要求浅浸蚀，其实，若各相之间的原子序数差
别较大而足以产生满意的背散射电子图象的话，许多试样用
不着浸蚀就可进行观察，深浸蚀会增加视在尺寸、体积分率
和第二相粒子数而减少它们的间距，深浸蚀试样对研究形状
和大小很有用，但任何获得其他情报的尝试会导致错误的结
论。当试图用SEM图象或照片进行测量时，应避免试样相对
于电子束的倾斜，否则会使分析复杂化。
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