本文标题："各种金属、合金微量粗糙度轮廓测量多功能显微镜"
发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------
人浏览过-----时间：2015-6-22 18:14:9
各种金属、合金微量表面粗糙度仪轮廓测量多功能显微镜
表面净化后，自然就不存在污染及其影响，但这种刚净化过
的新表面，其物理结构与特征对下道工序产生深远影响， 与表
面物理结构有关的其它问题以后再阐述。 现在先讨论半导体表
面，然后讨论制造器件用的其它材料，例如金属、合金、陶瓷和
玻璃，
首先把半导体材料锭锯成片，然后研磨、抛光到预定的厚度
。但这样处理会产生被损伤的表面材料层，其性质与原材料大不
相同。 因此，要用化学蚀刻去掉一定深度的表层，以便消除机
械损伤
虽然表面经过如此制备，而单晶依然有不少缺陷，所以，
蚀刻工序是不完整的。 表面不是原子级光滑向，而
是有一定微量粗糙度，从而影响外延沉积层的完整性。实践证明
：半导体的不同晶面(其它材料也一样)会呈现不同的蚀刻速度与
氧化速度
此外，蚀刻法易使表面污染到原来的程度。 这种杂质和表
面缺陷在半导体内产生巨大的电效应。 关于这些电效应的详细
叙述j可查阅参考文献。 ．
金属与陶瓷
各种金属、合金、玻璃和陶瓷都可用作密封硬件或电子器件
的支承构造，为此，常用溅射或蒸发金属膜或镀金。
为了得到一定表面光洁度而进行过抛光的许多陶瓷材料，
已发现它们都保留着大量残存的细小陶瓷粉末、 实验表明，造
成金属膜粘附性不好，在任一净化与超声能加工前应该除掉粉末
，
如果要在表面蒸发一层薄的金属膜，那么，表面粗糙度就是
一项限重要的性质。 在个别情况下，由于遮蔽作用大粗糙度足
以使薄膜产生孔洞。另一方面，由于“键控”作用，一定的粗糙
度反而能仗沉积膜得到额外的附着力。 在某些材料内还看到了
微裂，这是与以后性质不好直接有关的。利用集结在这些缺陷处
的荧光染料一般都能发现上述情况。
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