本文标题："测量工件表面粗糙度和机械几何图形测量显微镜"
发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------
人浏览过-----时间：2015-7-14 14:46:23
测量工件表面表面粗糙度仪和机械几何图形测量显微镜
针描方法
用手指或指甲触摸表面而发展到用针描方法，这种方法是用一钻
石针尖沿着一条超级来探测表面，从三维表面记录下二维的轮廓截
面作粗糙度测量，触针把测得的形状偏差变成电信号再进一步处理
，这种测量仪器称作电针描式仪器。
测量工件表面粗糙度和几何图形方法的适用性正在研究中对于简
单的表面已得到了和机械法测量相一致的结果，下一步是要修正由
更复杂表面所得到的结果；如车削、磨削和研磨的表面粗糙度，完
成了这一点，仪器量程便从现在的10μm扩展到1mm更大，这将极大
地提高它的使用性能。
显微镜还存在由于仪器目前的结构所强加的某些限制，例如它不
能用于测量小孔且需移动工件，在那些用接触法不合适的场合，这
种类型的仪器将会有很多用途，同时不可用于标准实验室代替机械
仪器。
我们近年来使用的干涉显微镜，它利用剪切法不但能作一般干涉
测量和微分干涉观察，而且还能对微小样品作干涉相应差测量，是
一种应用范围很广的仪器。
这里所说的利用剪切法作一般干涉测量，是把两支光路过来的象
，完全分离并使它们产生干涉的方法，而微分干涉是利用分辨率以
下的剪切重叠干涉的方法。
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