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本文标题："测针不尖等因素引起，轮廓仪最大测量误差可达15-20％"

发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------ 人浏览过-----时间：2015-7-21 14:5:41

测针不尖等因素引起，轮廓仪最大测量误差可达15-20％

测量误差

轮廓仪本身的测量误差来自电气误差和机械误差。测针

沿被测表面上作垂直于表面轮廓方向的微小位移，引起传感

器内电感量的变化，使电路内电流变化，经放大、检波、滤

波、积分等环节，最后输出。经这一系列环节产生电气误差。

测针不尖是轮廓仪的主要误差。微观不平度的微小峰谷

是大小不一，深浅不等，斜角很不规则的几何体。为能探测

到谷底，针尖的圆角半径必须为零。针尖圆角半径为零是不

可能的，其次，针尖太尖在测量时在测量力的作用下会划伤

零件表面。目前测针的针尖圆角半径为1--30微米。泰勒雪

夫一4轮廓仪有两种测针，一种针尖圆角半径为1．25微米，用

于溅量高表面粗糙度仪；另一种针尖圆角半径为2．5微米，用于一

般测量。由于测针不尖等因素引起的测量误差，轮廓仪的最

大测量误差可达15-20％。

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