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本文标题："样品表面间断接触式计量工具显微镜-样品检测"

发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------ 人浏览过-----时间：2016-5-20 22:8:25

样品表面间断接触式计量工具显微镜-样品检测

间断接触式原子力显微镜

间断接触式原子力显微镜被开发作为不会产生破坏性的摩擦力而得到高分辨

率的测量方法。当悬臂扫描样品表面时，其以共振频率振动。探针逐渐接近样品

表面直到间断地接触到样品表面。探针与样品的接触导致振幅减小。一旦探针接

触到样品表面，共振振幅数值与探针到样品的平均距离成正比。如果探针与样品

间的平均距离为lOnm，共振振幅峰值间的距离大约为20nm。

水平共振设置在

自由空气振幅的下面，并且通过反馈系统调整悬臂与样品间距，当探针通过样品

表面扫描光栅时，使振幅保持一常数。因为探针只是与样品间断接触，探针施加

在样品上的摩擦力可忽略不计，并且损害性的侧向力也能被消除。振动振幅可设

置足够大(10～lOOnm)，当探针接触到表面时，悬臂有足够的回复力(因为悬

臂的弯曲)防止探针在污染层被弯液面力或静电力挡住。

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