本文标题："计算机及高精度机械加工数字全息检测技术"
发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------
人浏览过-----时间：2016-6-29 17:30:6
计算机及高精度机械加工数字全息检测技术
微机电系统的数字全息检测
随着计算机及高精度机械加工技术的进步，微机电系统及微型元件
获得广泛应用．为保证微系统的质量，微机电元件的几何尺寸及空间配
置精度的测量是一种关键技术．在该研究领域中，数字全息三维形貌检
测获得了重要应用．
气流传感器的形貌，其传感关键部位是硅芯片上一个宽度约lmm的
方形的隔膜．穿过隔膜和底层的气流变化将导致通过隔膜周围空间的光
束变形．应变仪将这个变形转化成光电信号后便能获取气流变化的信息
．很明显，准确知道隔膜在给定气流状态的形状对控制产品的质量非常
重要．
材料物性参数的检测
对材料形变的测量测能获取材料的许多重要物性参数，例如材料的
杨氏模量、热膨胀系数及泊松比等．国内外在该研究领域不但已经取得
许多重要进展，一些测量技术已经获得实际应用
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