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本文标题："电子显微镜(SEM)中的电子PVC技术-EoS失效分析"

发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------ 人浏览过-----时间：2017-7-2 23:15:38

电子显微镜(SEM)中的电子PVC技术-EoS失效分析

EoS失效分析——PVC工具

电压对比技术可以用来评估与“开路”和“短路”相关的EOS

失效机制。电压对比技术包括无源电压对比(PVC)和有源电压对比(

AVC)。

PVC技术并不会把衬底或管芯连接到电源或信号上。半导体电

路中的PVC失效定位方法是基于对比器件的“暗”或“亮”之间的

差异来确定器件是否接地、反向偏置或是悬空。聚焦离子束、电子

束是用来给物理结构充电，用探测器来对响应信号进行成像。辐射

的来源是聚焦离子束(FIB)的离子和扫描电子显微镜(SEM)中的电子

。

对于EOS失效分析，PVC可以用来评估短路连接、开路电路、栅

极电介质击穿漏电和合金结漏电。

EOS失效分析——AVC工具

有源电压对比(AkiC)技术可以用来评估与“开路”和“短路”

相关的EOS失效机制。对f大型结构、链路和复杂互连，无源电压对

比(PVC)的作用很有限。AVC技术的一个优势是对比的提升，对较大

的缺陷和复杂电路的开路、短路或结构缺陷之间的区别更清晰。

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