本文标题："增强电子穿透试片的能力-TEM与SEM显微镜的功能"
发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------
人浏览过-----时间：2013-1-18 23:40:32
近年来TEM与SEM的功能大大的提升，而TEM主要发展方向为：
(一)提高鉴别率
提升鉴别度，使点与点间之鉴别率为1.8Å、线与线间1.4Å。以其超越厂商对解析力最低要求。
电子显微镜中心的1000 keV原子分辨电子显微镜（atomic resolution electron microscope，AREM）
对点与点间之分辨率高达1.7Å，已可直接观察晶体中的原子。
(二)提昇高压电
增强电子穿透试片的能力，即可观察具代表性试片；
更可透过临场直接观察辐射损伤试片的程度；降低散色像差（chromaticaberration），提升解析度等
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