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本文标题："微元件尺寸测量影像测量仪厂商-光学式测量显微镜"

发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------ 人浏览过-----时间：2013-5-9 17:48:26

什么是複合压力微感测元件

複合压力微感测元件，根据矽半导体微加工技术，

单一感测体包含四组惠斯顿感测电桥，每一组电桥有四个压阻感测器分佈于量测薄膜上，薄膜厚度为20 μ m ，宽度为120 μ m ，

元件最佳应力响应值为0.417MPa/mmHg ，最大量测范围为300mmHg ，模拟灵敏度可达77.17 μ V/V/㎜Hg ，

完成之微元件尺寸为6.5 ㎜×6 ㎜×0.7 ㎜。微感测体个别压阻值量测误差小于3%；当温度介于25 ℃~55 ℃时，

电阻值对温度之非线性度误差小于2%，可应用于医疗诊断，亦可应用于产业与日常生活相关之力与压力之感测与量测。

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