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本文标题:"STM显微镜解析度高于光学式显微镜-精密工艺技术"

发布者:yiyi ------ 分类: 行业动态 ------ 人浏览过-----时间:2013-8-17 10:13:36

 STM显微镜解析度高于光学式显微镜-精密工艺技术

 
在各类科技不断湧现的今天,究竟哪一种技术才称得上是革命性的技术?对此,
不同领域的学者或有不同的见解,但综观目前的科学主流,一般咸认纳米科技是最有潜力成为下一个足以影响
人类的革命性技术之一。
 
自 1980 年代初发明了 STM显微镜(scanning tunneling microscope)、AFM显微镜(atomic
force microscope)等解析程度达原子级的显微镜,使得研究人员能够观测到材料
的微结构,在此基础下,材料可被精緻化,旧有材料性质得以改善,甚至开发出
许多性能独特的新材料,如今这种在超细微尺度下的精密工艺技术统称为纳米科技
 
微观粒子具穿越能障的能力,称之为穿隧效应。在纳米科技兴起以前,此现
象仅能在原子层级的微观世界中观测到,近年来于纳米材料的相关研究,陆续在
宏观的实验里量测到了一些与穿隧效应有关的巨观物理量,例如纳米微粒的磁化
强度和量子相干元件中之磁通量等测量,均发现穿隧效应的现象存在,故称之为
巨观量子穿隧效应(赖佳伶,2003)。常规镍金属在室温时呈强铁磁性,但镍奈
米粒子却呈现顺磁性,且其饱和磁化率较一般顺磁性材料高好几个数量级,此行
为被归类为超顺磁性(super-paramagnetism),研究人员便是利用电子的量子穿隧
效应来解释超顺磁性行为(罗吉宗等,2003)。巨观量子穿隧效应不仅对基础研
究有相当的重要性,对实用化的应用更具意义;如在制造半导体积体电路时,当
电路尺寸接近电子波长,电子会藉由穿隧效应而溢出元件,使原件无法正常工
作。

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