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本文标题："多种不同功能的量测工具显微镜-微小振动的量测"

发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------ 人浏览过-----时间：2013-9-23 17:34:4

多种不同功能的量测工具显微镜-微小振动的量测

然而原先使得远场光学显微镜加值的技术(如共焦术、光子穿隧显微术、干涉术等)却没有充分地

与近场光学技术结合，因此本计画主要提出将尝试结合近场光学术(near-fieldmicroscopy)、

光子穿隧显微术(photontunnelingmicroscopy)、干涉术(interferometry)三大技术，

经由对前项技术做更详细的讨论后，提出创新整合架构来达成全新的量测系统，

以求能有机会以光学显微系统来实现纳米结构微小振动的量测。

建构一套结构刚性佳且稳定性高的基础显微镜架构，开发多项功能以求同时能承载多种不同功能的量测系统；

共焦光学显微镜与光子穿隧显微镜，即是以一传统的反射式光学显微镜为基础，

将共焦光学显微镜之光路系统架构于其中，同时也以同一显微镜基础，

利用光子穿隧效应接近近场光学显微术的架构，研制了光子穿隧显微镜，

提供了一套拥有双重功能的显微镜系统。通常一套共焦光学显微镜或光子穿隧显微镜，

在半导体厂用于检测薄膜厚度的椭偏仪，亦是需要花费数百万之谱，

因此，想要同时拥有数种不同的精密量测设备

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