本文标题："光学量测原理显微镜测量微型元件三维曲面轮廓"

光学量测原理显微镜测量微型元件三维曲面轮廓

应用条纹投射法与三角摄影量测原理测量微型元件三维曲面轮廓。

藉由液晶投影机投射格雷氏编码与馀弦亮度分佈之结构光至微型物件表面，

经摄影机采集影像并经亮度线性校正后，可由此两者还
原出绝对相位。以映射函数法完成量测系统校正后，
即可将待测物的绝对相位转换为精确的轮廓高度。使
用立体显微镜 2X 放大率时，量测范围为 4 ×3 mm，
其轮廓量测误差标准差约为 5μ m；若使用 16X 放大
率时，其量测范围约为 500 ×375μ m，其轮廓量测误
差标准差约为 0.6μ m。

关键词：三角量测法、格雷氏编码、相位移、映射函数

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