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本文标题：" 精细零件测量用便携式光学显微镜制造厂商"

发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------ 人浏览过-----时间：2014-2-26 13:24:55

精细零件测量用便携式光学显微镜制造厂商

显微干涉轮廓仪结构的主要要求，是放被检零件的工作台和干涉

头联结的刚性要好，必须保证干涉条纹对振动的灵敏度为最小。在调

整机构方面，三个相互垂直方向精密移动被检表面13和绕其两轴转动，

要求有很灵巧的机构设计。另外，为了使两路相干光束的光程相等，

沿光轴方向精密移动物镜和棱镜也值得注意。

带有光谱分光镜的显微干涉轮廓仪为了检验外圆磨表面的微观几

何形状（其加工痕迹是不规则的），

小型光谱分光镜或光谱目镜代替干涉显微镜的目镜，并在被检表

面的像平面上，安放一个狭缝光阑。按这种光学系统设计了显微干涉

轮廓仪

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