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本文标题:"固体表面的形貌颗粒测量(用SEM电子显微镜)-显微分析仪器"

发布者:yiyi ------ 分类: 行业动态 ------ 人浏览过-----时间:2014-5-22 5:15:33

固体表面的形貌颗粒测量(用SEM电子显微镜)-显微分析仪器

 
    TEM用来探测晶格缺陷的存在和相分配。最近已发展的扫
描TEM仪器能得到更宽区域的形貌,并降低高强度光束对样品
的破坏。
 
    如果样品较厚,那么相互作用发生在样品的表面,其产物沿着
一定的轨迹离开表面。在扫描电子显微镜中((SEM ),通常检测的
是次级发射电子,电子束横穿样品表面进行扫描。对于反射技术,
非金属表面必须镀上一层薄金属膜(大约10nm ),例如喷镀金膜,
防止样品表面电荷富集。
 
    电子微探针能进行化学显微分析以及SEM和BSE检测,经
常被称作分析电子显微镜(AEM)或电子探针显微镜(EPMA ),这
是因为入射电子束与表面作用的另外产物是X一射线光子,它的波
长和能量取决于元素的种类和引起发射的电子层。分析这些光子
能对表面进行局域化学分析,分辨率可达15m。使用的x一射线分
光光度计有两种类型:
 
    ·波长色散分光仪(WDS),该仪器对波长进行扫描,波长与
检测到的激发光子相对应,利用安装在分光仪上的晶体的衍射,控
制晶面和光子束之间的角度。
 
    ·能量色散分光仪(EDS),其中一个多通道分析器产生光子
能谱。
 
    在这两种情况下,谱峰对应于特定的元素,而其峰面积对应于
所含元素的百分含量。WDS的分辨率优于EDS,尽管如此,到目
前为止前者仅适用于相当少的元素。但是,对于轻元素来说,仪器
在自然状态并采用防污染装置,对碳以上的元索都可用WDS定
 
量分析。
 
    TEM装置也能进行显微分析,EDS是目前最常用的检测技
术,与EELS一起用于检测轻元素
 
    令人感兴趣的应用之一是固定与特定元素相对应的波长(或
能量)可以获得固体表面的形貌(用SEM)或固体样品(用STEM)
的形貌,并显示元素的分布情况。这对腐蚀现象、表面,尤其是电极
表面的构成提供了非常有用的信息。
 
    利用新发展的红外扫描显微镜(SIRM)能够补充EPMA提供
的信息,尤其是吸附物的原位鉴别。
 

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