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本文标题："光学图像显微镜能够获得更高的成像分辨率"

发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------ 人浏览过-----时间：2014-6-23 23:47:21

光学图像显微镜能够获得更高的成像分辨率

事实上，可获得的实际分辨率的典型值为0. 2 - 0.3nm,由于透镜的各种像

差很难在电子光学系统中得到完全补偿.理论分辨率从未得到过。限制分辨率的

两种主要根R是色差和消色差(球面像差)。由于电子能量的不同(色差)或行

进路径长短的差异(消色差)，这两种像差导致电子束被聚焦在沿着“光”轴的

一定范国的位置上。虽然采用单色光源能够减小色差，但非弹性散射意味着从样

品中飞出的电子的能量是发散的。采用更薄的样品和更高的加速电压能够降低非

弹性散射事件，从而能够获得更高的成像分辨率。采用较小的物镜孔径.亦即选

用接近“光”轴的电子，可以减小消色差。同时.由干角度大的散射电子不参与

形成最终的图像，因此这也能够提高图像衬度。不过，当使用较小的物镜孔径时

理论分辨率是降低的。

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