本文标题:"电镀工艺微晶结构,金属样品喷镀厚度检测显微镜"
发布者:yiyi ------ 分类: 行业动态 ------
人浏览过-----时间:2014-7-18 17:15:28
电镀工艺微晶结构,金属样品喷镀厚度检测显微镜
利用电镀工艺可以复制光栅一样的很小结构。为了制造注塑模压工装的模
芯,需要对原型光栅(例如,利用全息工艺将其制造在玻璃基板上光致抗蚀剂薄
层中)进行电镀复制。该工艺对光致抗蚀剂层的耐化学性、对基板的附着能力以
及处理条件都有很高的要求。
将一厚度约100mm的金导电起始层喷镀在抗蚀剂结构层上。为了保证
模压微结构表面所需要的微晶结构,该电镀工艺采用低电流密度(
由于要求量小的内应力,所以.使用含高表面活性剂的镍氨基磺酸电解液。
通过工装模芯和靠模样板的相互加工,可以达到非常高的定位精度。
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