本文标题："微机电零件轮廓精确度测量工具显微镜"

微机电零件轮廓精确度测量工具显微镜

微机电系统的优点
(1) 精确度：
???当一机械系统从传统从传统大小缩小至微机械时，其零件之精确度将相对的提高。
(2)成本：
??由于微机械体积的微小，所以需要的材料成本很低，就是用较好的材料也不会提高太多成本。
(3)轻柔运作：
??低质量，意味低实性和低质量变化效应，导致较平顺，较轻柔的运作。
(4)运作速度：
??系统越小，可使用的运作速度越高。当一系统缩小10倍时，
其相对可运作之速度则可提高10倍以上。例如微细的硅晶空气轮机可在使用简单的硅晶轴承下，
转速达24000RPM。

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