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本文标题："微机械的微零件轮廓测量工业显微镜"

发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------ 人浏览过-----时间：2013-8-26 5:20:8

微机械的微零件轮廓测量工业显微镜

微机电系统

(1)根据牛顿第二运动定律，力量等于质量和加速度的乘箦。在微机械的领域中，所应用零件质量都非常小，
对一固定的力量，其加速度会变得非常大。所以，从理论上看一极小的质量处于一微观世界将会产生很多新的特性，
因而开创一个新的科技领域。

(2)微机械的观念是从制造微电子电路而衍生出来的。而目前制造微电子、电路的技术已可制造微零件，
但在物理意义上，这些由硅芯片制成的微零件仍是属于二次元。而微机械的微零件必需是三维零件，
所以应发展新的科技以制造所需之三维微零件。

(3)微细装置的机械行为将是另一具挑战性的领域。微观世界之摩擦、应力、磨耗、变形、疲劳、润滑?#31561;
机械持性将不同于巨观世界。
(4)微细机械的微观环境持性，可预期的将不同于巨观的环境。当微机械小至原子间的距离时，
外下列环境因去将会影响它的行为：

微粒子或原子环境的碰撞。

气体或液体的黏性变换环境因素。
电、磁场环境。

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