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本文标题："微机电研发微小元件检测工具显微镜厂商"

发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------ 人浏览过-----时间：2013-8-26 10:20:33

微机电研发微小元件检测工具显微镜厂商

微机电系统之定义

MEMS系统的研发领域，是极具未来性和前瞻性科技，世界各国期望经由MEMS的研发领域，
是极具未来性和前瞻性科技，世界各期望经由MEMS的研发，其创廿一世纪新科技，以作为推动工业发展的动力，
并作为改善人民生活、促进经济繁荣的重要手段。而我国历经四十年来的快速成长后，

拓工业新的成长空间，我国必须提升技术层次，发展高科技及附加价值高的新兴产业，
开发具发展力的产品与主要技术，期望能带动其他产业的发展，
而MEMS系统的研发正好提供了一个具有发展力及前瞻性的方向。

由于微机电系统是一个新的领域，微机电系统（MEMS）的定义大致可分为两大类，
第一类认为微机电系统本身的大小在微米（μm）的范围（即0.5~500μm）
，第二类认为微机电系统是能达到微米以内的运动精度的机械，而机械本身的大小没有限制

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