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本文标题："微机电系统制程制作微面镜光学元件- 光学显微镜厂家"

发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------ 人浏览过-----时间：2013-3-27 17:3:12

微面镜之设计与制作及其反射特性之分析

体型微细加工方式设计出微镜面，并利用微机电系统制程技术制作微面镜光学元件。

利用8、10、12支悬臂樑，在悬臂樑上镀金或白金当作反射之微面镜元件，

运用两种不同材料之膨胀系数不同与残留应力，使悬臂樑造成向上翘曲，形成一微面镜结构。

模拟分析与实作量测两部份，

光学分析及光度分析的设计软体，模拟悬臂樑翘曲之角度，

利用氦氖离子红色雷射与氩离子绿色雷射两光源，照射至微面镜元件上，

量测其因反射所造成之光能量损失。在实作量测方面，利用两光源照射至微镜面元件上，

利用光能量仪器量测经反射所造成之光能量损失。

此研究为本实验室新开发之研究产品，在应用方面广泛，可当作任何需要反射之元件，使机器微小化而不佔空间。

关键字：微面镜、微机电系统、APILUX

tags:技术,科学,金相显微镜,上海精密仪器,

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