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本文标题："工件影像测量-微细元件检测工具显微镜"

发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------ 人浏览过-----时间：2013-8-4 5:1:15

工件影像测量-微细元件检测工具显微镜

主要设计以数位投影条纹技术和相位移量测原理，发展数位投影微三维轮廓扫描量测系统。

随着微机电技术的成熟，目前微细元件检测技术不断的开发，本发展系统藉由整合数位微镜芯片(Digital Micromirror Device, DMD)，其具有高亮度、高对比度与高分辨率的特性，提供物体三维量测之结构光源，

由电脑控制条纹输出，能灵活的控制投影大小与变化条纹，精确的将投影条纹投射在物体表面，
快速进行三维轮廓量测。

由微投影光学镜组设计构成，能调整投影光源使其聚焦于约1500*2000μm2;~6750*9000μm2;范围内
(分辨率约可达3μm/ pixel)，并投射在物体表面上，依照量测范围和解析度任意产生理想结构光栅
以适应各种量测需求。另一个特色是能以适应影像撷取角度，有效提升量测之分辨率。

而本系统整合多种相位重建技术，以建立量测物体理想相位重建结果。

量测误差范围在3%以下，重复性量测平均误差12μm以内。其三维全场表面量测范围从4百微米到十几厘米，
能提供一个精确和快速量测的量测结果。

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