本文标题："SEM电子显微镜的原理简介-仪器常识"
发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------
人浏览过-----时间：2013-7-27 5:35:37
SEM电子显微镜的原理简介-仪器常识
SEM
的主要工作原理为电子鎗透过热游离或是场发射原理产生高能电子束，经过电磁透镜组后，可以将电
子束聚焦至试片上，利用扫瞄线圈偏折电子束，在试片表面上做二度空间的扫瞄
当电子束与试片作用时，会产生各种不同的讯号，如二次电子、背向散射电子、吸收电子、欧杰电子、特征X光⋯⋯等。在
一般扫瞄式电子显微镜侦测系统上，主要为侦测二次电子及背向散射电子成像，这
些讯号经过放大处理后即可成像观察
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