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本文标题："电子显微镜SEM观察S具有放大倍率高景深长的优点"

发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------ 人浏览过-----时间：2013-3-17 10:23:24

扫描式电子显微镜（SEM）观察SEM 具有放大倍率高、景深长之优点，

对于试片的细微结构及立体型态可做清晰观察。本实验将配合使用背向电子侦测器（BEI），观察介面处是否有不同相生成。

此侦测器主要是利用轻元素其背向电子讯号较弱，重元素的背向电子讯号较强，

來分辨不同组成的相。亦将使用 SEM 上加装之能量散佈光谱仪（EDS）來对生成的相做粗略的组成分析以利 EPMA 分析。

在 SEM 下观察之影像可藉其附属的照相系统拍照并传输至电脑中，

透过影像处理软体 Optimas（Ver6.1）可进行影像处理及各相反应、生成物厚度的量测。以生成物的厚度为例，是先利用软体求得生成物面积再去除以反应介面的长度來求得

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