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本文标题："电子显微镜是根据不同原理的现象来构成衬度的"

发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------ 人浏览过-----时间：2014-8-18 10:33:25

电子显微镜是根据不同原理的现象来构成衬度的

另一种是扫描电子显微镜((SEM)，它可以对样品表面进行扫描.

透射电子显微镜可以有很高的分辨率(3~5埃左右)，而扫描电子

显微镜的分辨率只有100~200埃.可是，透射电子显微镜只能使用

薄得足以使电子束能明显穿透过的试样.所允许的实际厚度与材料

及所用的加

速电压有关，但一般小于2000埃.因此，微电子学中所用的大多数

薄膜，即使它们不是附在较厚的基片上，对用透射电子显微镜观察

而言也是太厚了.为此，块状的材料或较厚的薄膜必须减薄，或者，

假如只是对表面结构有兴趣，则可以用足够薄的膜来制作复型.

扫描电子显微镜是根据一些不同的现象来构成衬度的，所有

的测量都能在一个表面上进行.对于基本的材料研究，诸如寻找

沉淀物以及研究晶粒结构和位错，透射电子显微镜是最适合的.对

于器件工艺的控制和失效分析，则扫描电子显微镜更为有用，它

可用作为光学显微镜的扩展，或用来检侧任何其它方法都不易辨别

的缺陷.

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