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本文标题："取样样品轮廓图分析用微小形状检测用光学显微镜"

发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------ 人浏览过-----时间：2014-11-7 5:1:14

取样样品轮廓图分析用检测显微镜

轮廓波形象表面本身一样是很复杂的，是各个发生的频

率结合起来的总和所形成的，轮廓图则是其可看见的表象。

用肉眼来区别频率是不容易的，最多只能找出少数几个有规

则重复的微观不平度形成的频率，但复杂的波形经过电技术

处理就能将各个形成的频率都分析出来。

放大器的波段宽度总是比记录器的大，所以这个因素无

需在这里考虑。‘放大器的频率反应可以(和经常)通过滤

波器加以改变.使用滤波器来减少高些或低些的频率的相对

波幅，就有可能分辨出波形中的粗糙度和波纹度的构成成

分，

采用滤波器也必须取一个适当的截取波长值，这相当于在

表面上选择一个适当的取样长度。

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