本文标题："轮廓仪器组构中包括光学式显微镜-仪器简介"
发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------
人浏览过-----时间：2014-11-7 10:8:59
轮廓仪器组构中包括光学式显微镜-仪器简介
干涉轮廓仪器基本上是装有发光系统的显微镜
物镜与被测表面之间有一个斜反射镜
对表面成一个小的倾料角，形成了一个尖劈形的空气间隙。
表面与反射镜之间的多次反射产生了清楚的条纹，
可以在目镜中看到。同样方法，用一个球形的半反射面就可
以测量球的表面粗糙度.
虽然干涉仪在应用于测定表面纹理方面有一定局限
性，可是也有其优点:例如能测定表面的一个面积，能显示
表面形状误差;是一种不接触的测量方法，
并且能且出划伤或其它痕迹的真实深度而不管其
寒度如何.
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