本文标题："微型的光学测量或机械测量轮廓测量工具显微镜"
发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------
人浏览过-----时间：2014-11-13 10:29:35
微型的光学测量或机械测量轮廓测量工具显微镜
在常用的超精密形状测量法中，利用光干涉的面
形测量法运用的最多。干涉测量法的应用前提是必
须要保证基准元器件的精度，但如何保证其精度是
现在面临的主要问题之一。而且目前非球面形状的
干涉测量法仍旧不成熟，这也是现在需要解决的关
键问题之一。鉴于干涉法对振动或环境的适应很弱
的情况下，该测量方法更倾向于大型化的光学系统
测量，而不是倾向于微型的光学测量或机械测量。
与此相对应的是，扫描测量方法可以实现球面或平
面，以及非球面等多种形状的简单在线测量。
一般的， 在扫描测量法中，需先确定好严格的测
量基准，然后开始对对被测物体进行扫描，以此查
获得被测量物的相对位置变化或相对角度等。根据
母性原理，扫描测量法和测量精度由以下两个因素
决定：
（1）传感器的检测精度
（2）扫描基准的运动精度
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