本文标题："亚微米级精度的变位计和能测量出0.1s数据精度"
发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------
人浏览过-----时间：2014-11-13 17:30:3
亚微米级精度的变位计和能测量出0.1s数据精度
在现有的精密检测技术条件下，要求现高精度的
检测，则需亚微米级精度的变位计和能测量出0.1s
数据精度的角度计，但是，以高精度的扫描基准来
进行测量是非常困难的，因为扫描形状测量的精度
是由扫描引导的运动精度决定。
工作机械直线运动机构的高精度化是精密检测技
术的保证，运动机构的运动误差是评价精度必要的
手段。高精度的直定规等是测量运动基准的最后一
般办法，但在测量移动范围很大的计测法等，开发
出了以激光光线为基准的测量法。
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