本文标题："高精度加工三维微装配微小元件检测金相显微镜"
发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------
人浏览过-----时间：2015-1-12 10:23:23
微机电系统是建立在集成电路工艺基础上的新兴产业，在它的
发展初期，主要是利用新的理论制造各种传感器和生物操作用微探
针，包括压力传感器、速度和加速度传感器、微陀螺、微探针阵列
等。后来出现的LIGA技术、各种电化学加工技术、超高精度加工技
术等，拓展了微机电系统的种类和应用领域，特别是在生物医学领
域中的应用。相对于传统的微器件制造方法，这些技术最大优点是
能制造出真正的三维微器件，而其最大不足是机械器件不能与
控制电路做在一起，构成理想的微机电系统。要构成微机电系统，
必须采用微装配技术，将微器件装配在一起。
微装配与传统的装配并不一样，这是因为器件的尺寸减小后，
它的力学性质发生了变化。比如，传统的装配中，零件的重力占主
导地位，它具有自定位能力，而微机电系统中的器件，重力的影响
显著减小，静电力、表面张力和范德化力占统治地位。这些力不仅
力学性质不清楚，而且会破坏器件的定位关系。如在抓一个这
样的器件过程中，手爪没有和器件接触时，在静电力和表面张力作
用下，器件会吸附在手爪上，而当手爪张开时，器件也不会自由释
放。由于这些力的存在，使得微装配存在很大的困难，必须采用新
的技术和理论加以克服。
由于微装配与微操作是一个新兴的研究领域，许多理论和技术
仍处于研究中，限于个人的理解和知识面，
后一篇文章：机械加工模型轧制规程工艺金相分析显微镜 »
前一篇文章：« 集成电路工艺检测光学仪器-超精密加工技术
tags:材料学,金属,技术,金相显微镜,上海精密仪器,
高精度加工三维微装配微小元件检测金相显微镜,金相显微镜现货供应
本页地址：/gxnews/2169.html转载注明
本站地址：/
http://www.xianweijing.org/