本文标题："光学显微镜采用非接触方法来测量表面粗糙度"
发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------
人浏览过-----时间：2015-6-29 16:16:4
光学显微镜采用非接触方法来测量表面表面粗糙度仪
使用照相记录的斑纹干涉量度学
干涉仪是测量波列之间相位差的光学仪器，由此推论，它
也是利用光的波长测量长度的光学仪器．
指出，当光的波列本身是复杂的亦即是斑纹图样场时，不能直
接作出这些测量．需要实行某种光学处理来提取信息．在很
多情况下，这个中间步骤最好是通过照相记录斑纹图样强度
分布来实现．当然必须使用能分辨斑纹的照相材料，这可能
需要使用细颗粒的全息干板或胶片．照相法的优点不仅在
于能提供一个光学滤波器重新插入光学系统中，能作“活”
测量，而且用双曝光法能永久记录一段时间内发生的相位变
化．全息干涉量度学中使用照相记录的情况与此类似．
需要寻找一种良好的非接触方法来测量表面应变，即一
种取代常规应变计的方法，无疑地促进了斑纹干涉量度学的
发展．虽然已经知道全息干涉量度学，能够测量三维空间
内总的表面位移和形变，但实际上要把运动的面内分量与离
面分量分开是困难的．而且这个方法对位移和转动的不同方
向的灵敏度可以显著不同．要测量应变，我们只需要测量面
内位移，并找出它的变化与所要求的方向上的距离之间的函
数关系．将要指出，斑纹干涉量度学能做到这一点，与垂直于
表面的方向上发生的任何位移无关．
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