本文标题："场离子显微镜装置能够用来研究应用得广泛多种类型"
发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------
人浏览过-----时间：2015-10-29 12:27:42
场离子显微镜装置能够用来研究应用得广泛多种类型
原子探针基本原理
MOller，Vanselow和Schmidt首先用质谱仪测定室温和
高于室温的场蒸发的各种特征。Barofsky和Mailer将场离子显
微镜与磁偏转质谱仪组合，在低温下鉴别了场蒸发元素。但初始阶
段的仪器不能对样品进行有选择的局部区域的分析。意义最深远
的设计产生在1967年，这就是由Mailer．Panitz和McLane开拓
的飞行时间原理。在他们设计的仪器中，场离子显微镜的成像荧光
屏上开一小探孔，样品固定在一个可以转动的支架上，以便使图像
上的某个小的区域调整到与单个离子灵敏的飞行时间质谱仪成一
直线。在场离子显微镜的静电场中所形成的场电离离子
和场蒸发离子轨迹的相同性，第一次使得区别被选择的单个离子
成为可能。
原子探针操作的基本原理是非常简单的，区别单个原子的第
一步是要形成样品的场离子图像，其次，确定样品位置，以便被选
择区域的场离子图像落在通道板和荧光屏装置的小孔上。然后，表
面原子通过加到样品上的一系列ns上升时间的高压脉冲而场蒸
发。当电离的原子从整个样品表面剥落时，只有轨迹通过荧光屏上
小孔的电离的原子才能进入质谱仪被分析。这些离子的质荷比m／
咒可通过使具有总电压V的样品表面的离子的势能与离子被加速
到对面电极(保持在地电位)所得到的动能相等而计算出来。
现行的场离子显微镜装置能够用来研究多种类型的材料，几
乎包括了所有的金属和合金，以及半导体、导电的氧化物、陶瓷等
场离子显微镜图像也能从样品表面的场蒸发的离子形成，并
称之为场解吸显微镜。这类成像具有内在的不稳定性，这是因
为在成像过程中样品表面的原子材料连续地被剥落。尽管成像强
度可用串接的两个微通道板的成像转换系统增强．这类成
像也非常微弱，因为每个像点仅由一个离子来形成。场解吸显微镜
技术没有场离子显微镜应用得广泛，但场解吸显微镜提供了成像
衬度的另一种不同的来源，特别是可以用来研究离子投影和投影
畸变效应的细节
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