本文标题："碳化硅晶体形貌科研分析图像显微镜制造厂商"
发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------
人浏览过-----时间：2016-1-20 17:52:47
碳化硅晶体形貌科研分析图像显微镜制造厂商
关于碳化硅晶体的内部结构及其晶面
蜷线显微形貌的某些特征
应用多光束干涉法测定了碳化硅晶面上的显微形貌 ，根据X射线
的研究结果讨论了碳化硅表面形貌与其内部结构的密切关系。
碳化硅晶体有两种特性：一方面是晶面的螺旋——层状结构，另
一方面是多型性，亦即内部结构的超周期性；毫无疑义，这两种性
质是彼此联系的。
就对碳化硅晶体晶面上的许多蜷线进行过研究，并不提出了这样
的假定，即蜷线梯阶的高度应该等于梯阶高度方向的点阵参数或是
它的倍数，同时，“有规律的晶面蜷线层引起碳化硅晶体独有的多
层超结构的形成”在研究SIC的结构时指出，SIC晶体中的超周期性
与生长周期性的重复破坏有关。
研究晶面所属的形貌学和验证上述假设，碳化硅是一种非常适宜
的对象，由于高硬度，耐酸性以及其他的一些性质，在制备时，这
些晶体的表面不致有任何的变形在化学清洗时也不会有任何的变化
。
我们的注意力曾集中于研究几乎平滑的晶面的显微形貌，若此时
晶体的轴垂直于炉心，则晶面通常在晶体面向炉子外圈的一面生长
；“相反”的一面，即在面向炉心的晶面上，通常可以看到骨架的
形成，这些晶面的蜷线的显微形貌是多种多样的，无论是“圆形的
”或多角形的，一圈的或多圈的，右旋的或左旋的蜷线都有发现，
蜷线各种不同的结合情况也都曾观察过，因为在最近发表的许多著
作中，都可以找到有关说明，在此我们不再重复论述。
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