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本文标题："质谱仪涂层装置的制造加工实验-机械和工艺涂层"

发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------ 人浏览过-----时间：2016-5-26 23:6:6

质谱仪涂层装置的制造加工实验-机械和工艺涂层

大多数情况下，可通过前述的压力计指示出来，其产生一个控制系统

的警报。然而涂层装置的制造者通常利用特殊的装置去检测淀积室的密封状态。

氦质谱仪泄漏的检测在需要压力密封的产品中检测泄漏是一个非常灵敏的方法

。这种方法的操作是通过直接把氦气通入泄漏的地方然后进入检测

器，基于质谱仪的原理。此系统可检测出非常小量的氦气。对于涂层的应用，检

漏仪由质谱仪管和固态电子控制面板组成，但是没有真空泵系统。此仪器的操作

依靠被检测的组成部分处于高真空状态。质谱仪管与真空系统相连接。一个以上

的质谱仪管共享同一个控制面板，可以附上真空装置系统的被检测的不同的位置

以提高检测效率。

温度控制

真空涂层过程的效果和质量与温度有很大的关系。物理、机械和工艺涂层特

性对淀积温度非常敏感，因此，其大小通常作为涂层的规格被记录。随淀积温度

的增加，对于同样的涂层等级通常可提高硬度和刚性，但另一方面，可降低内应

力和涂层的延展性。

进一步讲，淀积温度可引起基底的晶体转化，例如，非控制的退火。因此温

度是关键参数，必须在整个淀积周期内精密地跟踪和调整。

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