本文标题："宏观几何量CCD工业显微镜制造厂商-检测砂轮微观几何"
发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------
人浏览过-----时间：2016-5-28 9:8:27
宏观几何量CCD工业显微镜制造厂商-检测砂轮微观几何
宏观几何量中的传感器
大部分传感器可用于测量宏观几何量的特性。任何类型的
传感器与旋转刀具的机械接触都会引起一系列的问题，因为研磨剂
总是趋于去研磨所接触到元件的原材料。只有通过具有小的接触力
的短接触脉冲，及通过应用顶端非常硬的材料，例如，碳化钨，才
可能达到满意的结果。例如，利用偏心驱动实现针的摆动来测量砂
轮半径磨损的系统已被使用，其中切削速度可以达到35m／s。然而
，切削液的供应及带有多孔玻璃黏合剂的金刚砂砂轮引起严重的问
题。在任何情况下，这些基于接触的方法在旋转刀具中只适合于宏
观几何量的测量，被限制在少数的研究中。
另一组用于砂轮测量的传感器是基于气动系统。虽然由于
喷嘴直径是1mm或更大，这种方法在原理上不能检测砂轮微观几何
量的特性，但它们对于检测宏观几何量是很重要的。有压缩空气供
应的系统及没有压缩空气供应的系统要分开。后者，以测量旋转砂
轮的气流为特性。结果表明，气流依赖于传感器距表面的距离，圆
周速度，并且受砂轮外形的影响。有压缩空气供应的方法是基于喷
嘴弹回金属板的原理，通过砂轮弹回金属板。这些系统有能力测量
距离的变化及半径的磨损，分辨率为0．2μm。正是由于这个特性
，以及易于安装和适当的价格，所以气动传感器在工业中可以被接
受。
另一个记录砂轮宏观几何量的方法已发表。在利用CBN砂
轮进行高速内径磨削的过程中，通过小直径的砂轮，用带有有源磁
性轴承的轴(AMBs)来达到必要的圆周速度200m／s。这种轴可以使
转子从围绕几何中心轴旋转转换到围绕惯性主轴旋转来补偿所有不
平衡。尤其是如果所用的电镀CBN砂轮没有修整的可能性时，应用
平衡面是必要的。测量在研磨层中以非常高的圆周速度旋转的砂轮
的脱离，电容传感器显示了最好的性能。
声学传播信号也用于检测砂轮的宏观几何特性。用一个装
配有声学传播传感器的单点金刚石修整器来检测砂轮表面精确的位
置。因为由于湍流，声学传播信号在修整器没有与砂轮接触时可被
得到，在整个三个不同接触条件可被区分为：非接触，弹性接触，
脆性接触。建议应用弹性接触范围的声学传播标准来监测砂轮的精
确位置。当前惟一的不利是只能使用单点修整器，为了克服这个缺
点，对于旋转修整工具的扩充是当前研究的主题。
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