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本文标题："微观材料应用工业检测立体检测显微镜"

发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------ 人浏览过-----时间：2016-7-15 1:13:12

微观材料应用工业检测立体检测显微镜

单晶与半导体工艺

单晶与多晶材料的主要差别是在单晶材料中没有晶界。在一些

材料应用的领域，没有晶界是一种非常希望的微观组织。例如，使

用单晶的镍基合金可以改善其抗氧化性与耐蠕变的能力，从而提高

涡轮叶片的耐高温性能，但这也可以用晶界的存在来增强，这在第

五章与第九章中已经做了解释。在我们选择诸如钻石、红宝石、蓝

宝石等天然宝石时，对单晶的偏爱也是显然后。然而，单晶的更多

的应用是在半导体工业中。

在半导体工业中需要单晶的

原因是因为缺陷会大大降低这些材料的电气特性。所以半导体工业

不仅需要没有晶界的单晶材料，而且要求材料的位错、杂质原子，

以及其他点缺陷的浓度都要低。

硅单晶的生长与工艺，讨论制备完整的

电路芯片的工艺步骤。这些工艺包括氧化、光刻、浸蚀、扩散、离

子注入、互连、装配、以及包装等。单晶的成长与工艺

半导体工业中所使用的硅晶体的大多数是用法制备的。

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