本文标题："表面微机械传感器原理-实时振动分析元件"
发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------
人浏览过-----时间：2016-9-17 1:30:37
表面微机械传感器原理-实时振动分析元件
实时振动分析仪，只需要商品化低成本的元件，所以比较便宜。新
型微机械加速度计大幅减少了成本和所需的信号调理电路。这些新
型表面微机械传感器的成本比曾经是标准的压电状态监测仪的成本
低。此外，典型的微机械传感器的灵敏度将保持在工业温度的1％
公差范围内，从而免除了温度补偿和校准的需要。可以轻松安装，
因为加速度计能够独立于机器本身的控制，来收集振动信号。
激光测量系统的组件
激光测量系统通常包括：
1)激光头。
2)干涉仪及其相关反射镜。
3)测量接收器和测量与控制电路。
某些测量不能直接将干涉仪输入光圈对准激光头。因此，这类系
统还将包括各种光束定向光学部件。此外，系统还可能包括环境遥
感和／或波长跟踪，来进一步测量补偿由于环境参数变化随之而来
的激光波长的变化。激光器的激光头用做光束和参考频率源。光学
仪器和测量接收机使用激光束产生的测量信号。参考和测量信号与
环境传感器信号一起测量电路产生的线位移信息。系统控制器可以
读取和显示此位移信息。此外，测量电路输出实时信号表示一个目
标和实际位置之间的差。此误差信号可使伺服电子系统直接驱动伺
服电动机。干涉仪和反射器
干涉仪和反射器是激光测量系统关键的光学元件。激光头发出
光束的主要部分被传送到干涉仪。干涉仪是一个两极化分束器，反
射一个极化光束，传送另一个光束。光束分路器定向使得反射光束
与通过的光束彼此成直角。
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