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本文标题："电子在经过了与样品的相互作用后从样品底部逸出"

发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------ 人浏览过-----时间：2016-9-27 5:14:7

电子在经过了与样品的相互作用后从样品底部逸出

　　透射电子显微镜(TEM)

　　当需要对样品进行高空间分辨率的检测时，就要用到透射电子显微

镜(TEM)。样品要足够薄，使得电子束能够透过，制备样品时可直接减

薄或镶好后减薄截面。如果兴趣在于得到小的析出相的特征，可观察从

样品制得的碳萃取复型。

　　电子在经过了与样品的相互作用后从样品底部逸出。透射光束中的

电子基本上与样品没有任何相互作用就从样品中穿过；衍射光束中的电

子没有损失能量(弹性散射)，但是因满足角度准则(与x射线的布拉格定

律相似)被散射到一个新的路径。透射束和衍射束可用来形成样品的高

分辨率(在1 nm级)图像，衍射柬还用来形成样品微小区域的选区衍射图

(SAD)，它类似于XRD谱含有晶体学的信息。

　与样品相互作用后损失了能量的电子(非弹性散射)也逸出了样品，

电子能量损失谱(EELS)就是以测量电子损失的能量为基础，使进行高精

度化学分析成为可能。

　　最后，在TEM中激发的特征x射线和在SEM中一样，经过采集分析可

得到化学成分信息，由于x射线是在比SEM小的样品体积中产生，因此可

用来分析微小的形貌特征。

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