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本文标题："扩散设备可完成扩散和氧化-电子器件检测显微镜"

发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------ 人浏览过-----时间：2016-12-4 2:41:29

扩散设备可完成扩散和氧化-电子器件检测显微镜

用湿化学腐蚀法把原来的多晶层除去，露出原来的淀积层和氧化

物覆盖的最初淀积的硅外延层的隔离区。所以，外延炉不仅可以生

长外延层，还可以通过气相腐蚀和氧化，形成复杂的结构。

扩散设备也可以完成扩散和氧化之外的任务。一种专门的技术

就是退火方法，它可以保持本体半导体的寿命，举例来说，漂移晶

体管的工作很大程度上依赖于本体半导体的寿命。标准的扩散和氧

化工序会使寿命降低，不过半导体的寿命可用退火方法来保持。在

每次专门氧化或扩散之后必须进行退火；或者在整个扩散一氧化结

束之后，单独进行退火。根据制造器件的具体情况，制造器件用的

炉子设备必须能够进行必

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