本文标题："影响测量的分辨率和形状-达到数十微米"

影响测量的分辨率和形状-达到数十微米

几种基于米劳干涉原理或者迈克尔孙干涉原理的测量
仪器可以实现高度小于1 nm的测量，其相应的软件可以呈
现最大高度的变化和斜率相对于统计周期的变化，或者超过
毫米级孔径的功率谱密度问题。
商用的斐索干涉仪可以给出斜率统计的报告，其横向空
间分辨率最好时可以达到数十微米。
探针式轮廓仪采用线性扫描来实现测量。其探针直径
的大小直接影响测量的分辨率和扫描形状。目前探针的半
径可以做到0．2μm以下。此外．探针接触力的大小很容易
超过材料的屈服强度．因此合适的校准和振动隔离是至关重
要的。
原子力显微镜AFM的探针半径在纳米范围．可以测
量的高度达到0．04nm(原子半径)．但扫描整个区域的速度
很慢。

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