本文标题："电极及化学镀镍工艺，为常用的主要上电极工艺"
发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------
人浏览过-----时间：2018-8-18 23:10:13
电极及化学镀镍工艺，为常用的主要上电极工艺
电极工艺
烧渗电极及化学镀镍工艺，为常用的主要上电极工艺，其他还
有火焰喷铝、喷铜、喷锌、真空溅射、真空蒸发等。
真空溅射也可用于上电极，例如在PTC陶瓷中，用此工艺溅射
钛电极，由于溅射前用氩离子清洗表面，使表面形成氧空位，破坏
了氧吸附，故能形成良好欧姆接触，且黏附强度大。加兴加康电子
陶瓷公司，用此工艺对大批压电元件上电极。
火焰喷铝也被大量用于对PTC及ZnO变阻器上电极。它用氧及乙
炔气为热源，利用压缩空气把熔融的铝显微液滴喷射在瓷片面上，
形成良好欧姆接触电极。除铝以外，还可喷Zn、Cu等，例如PTC蜂
窝发热元件喷铝后，再覆盖黄铜(即喷Cu—Zn)，可防止铝电极长久
使用后变质。为了增大铝对瓷的粘附，可以把瓷片预热后再喷。等
离子喷涂与此类似。
不同元件、不同应用有不同的要求，例如压电元件在外电场极
化时，要求一种电极图案，而工作时又要求另一种电极图案，这时
可用空气中固化的导电浆料，极化后除去，再换另一种形式的电极
。当需要复杂图案的电极，如梳状或权枝形电极，则用掩膜板蒸发
形成电极。有些传感器等叠层器件，多层重叠以获得大位移量，例
如达到100μm时，往往应用厚膜成形、冲制、印刷电极、叠层，最
后经烧结。由于电极处于瓷片层之间，需耐高温，因此多用舷一Pd
电极，也有利用注入法，即先用有机物为电极，烧除后再注入低熔
点金属形成内电极。
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