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本文标题:"材料观察电子显微镜试片厚约100微米的薄片"

发布者:yiyi ------ 分类: 行业动态 ------ 人浏览过-----时间:2013-3-14 5:39:30

 材料观察电子显微镜试片厚约100微米的薄片

 
TEM 试 片 制 备
 
优良的试片制备为产生优良影像的前提,TEM 试片为使电子束顺利穿透,其厚度需加以
适当地减薄,减薄的程度与加速电压、解析度需求、材料种类及所感兴趣的特质等有关。试
片制备可分为二阶段,第一阶段先制成直径 3 毫米、厚约 100 微米的薄片,第二阶段则将其
减薄至电子束可穿透的程度。
 
 
制成直径 3 毫米、厚约 100微米的薄片
 
依材料来源不同,而有不同的程序,兹分类如下:
 
 
延性块材
 
延性材料之制作可分为以下两种方式:
(1) 以钻石砂轮切割并配合研磨,产生 100 微米厚的薄片,再以打孔器或超音波切割制成 3
毫米直径圆盘。
 
(2) 以滚辄的方式产生直径 3 毫米圆杆,再以钻石砂轮或放电加工切割机将其切成 100 微米
厚。或可直接将其滚辄至 100 微米厚薄片,使用打孔器或超音波切割制成 3 毫米直径圆盘。
但以上方式将导入应变、或在加工期间发生热处理现象而改变试片既有的结构。
 
 
脆性块材
 
脆性块材之制作可分以下二方式:
(1) 如同 2.1.1(1)。
(2) 将材料粉碎,并将其散佈于支撑的薄膜上,如碳膜等。
2.1.3 非块材
依材料形态可分为以下二类:
(1) 颗粒、粉末、纤维等:
1.若厚度小于 200 奈米,则直接散佈在支撑的膜上。
2.若厚度超过 200 奈米,则将其镶埋于类似的材质中形成複合物块材,再依块材的处理方
式制成薄片。
(2) 薄膜类
将其沉积于可移除的基材上,如:
1.醋酸酯膜(Acelate film)可以利用丙铜蒸气去除。
2.结晶盐片可以溶于水中。
3.金属基材,如铜可以溶于稀硝酸中。
2.2 减薄
前置作业:把先前所得到的直径 3 毫米、厚约 100 微米薄片以凹型研磨机(Dimpling
grinder)将薄片中央部份研磨至 3~5 微米,再进一步减薄。
现有各种减薄技巧,主要为下列四种:
1.视窗技术 (Window Technique)
2.电解抛光 (Electro polishing)
3.化拳抛光 (Chemical polishing)
4.堆子喷洩 (Ion sputtering milling)

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