本文标题："材料观察电子显微镜试片厚约100微米的薄片"
发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------
人浏览过-----时间：2013-3-14 5:39:30
材料观察电子显微镜试片厚约100微米的薄片
TEM 试 片 制 备
优良的试片制备为产生优良影像的前提，TEM 试片为使电子束顺利穿透，其厚度需加以
适当地减薄，减薄的程度与加速电压、解析度需求、材料种类及所感兴趣的特质等有关。试
片制备可分为二阶段，第一阶段先制成直径 3 毫米、厚约 100 微米的薄片，第二阶段则将其
减薄至电子束可穿透的程度。
制成直径 3 毫米、厚约 100微米的薄片
依材料来源不同，而有不同的程序，兹分类如下：
延性块材
延性材料之制作可分为以下两种方式：
(1) 以钻石砂轮切割并配合研磨，产生 100 微米厚的薄片，再以打孔器或超音波切割制成 3
毫米直径圆盘。
(2) 以滚辄的方式产生直径 3 毫米圆杆，再以钻石砂轮或放电加工切割机将其切成 100 微米
厚。或可直接将其滚辄至 100 微米厚薄片，使用打孔器或超音波切割制成 3 毫米直径圆盘。
但以上方式将导入应变、或在加工期间发生热处理现象而改变试片既有的结构。
脆性块材
脆性块材之制作可分以下二方式：
(1) 如同 2.1.1(1)。
(2) 将材料粉碎，并将其散佈于支撑的薄膜上，如碳膜等。
2.1.3 非块材
依材料形态可分为以下二类：
(1) 颗粒、粉末、纤维等：
1.若厚度小于 200 奈米，则直接散佈在支撑的膜上。
2.若厚度超过 200 奈米，则将其镶埋于类似的材质中形成複合物块材，再依块材的处理方
式制成薄片。
(2) 薄膜类
将其沉积于可移除的基材上，如：
1.醋酸酯膜(Acelate film)可以利用丙铜蒸气去除。
2.结晶盐片可以溶于水中。
3.金属基材，如铜可以溶于稀硝酸中。
2.2 减薄
前置作业：把先前所得到的直径 3 毫米、厚约 100 微米薄片以凹型研磨机(Dimpling
grinder)将薄片中央部份研磨至 3~5 微米，再进一步减薄。
现有各种减薄技巧，主要为下列四种:
1.视窗技术 (Window Technique)
2.电解抛光 (Electro polishing)
3.化拳抛光 (Chemical polishing)
4.堆子喷洩 (Ion sputtering milling)
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