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本文标题："工业测量显微镜垂直方向成像解析度不足"

发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------ 人浏览过-----时间：2013-3-15 0:10:49

工业测量显微镜垂直方向成像解析度不足

一为『三维扫瞄机二代』，另一为『低温共轭焦显微镜』

垂直方向解析度不足一直是所有影像系统的问题，工业上利用光学三角测量法(Optical triangulation) 测量z轴距离，

并藉由扫描方式得到三维影像。第二代则是利用斜向入射的条纹图形(Moire pattern)，并配合扫描即可快速得到高解析度三维影像，

设计用于斜向投影的（30度）的成像镜头，以及LED的背光系统，条纹的亮度均匀度在5 x 5 mm范围，对比度可达 68.7％，亮度均匀度可达78％。

本文第二部份探讨在深1600mm超导磁铁内装置共扫描轭焦扫描探测器(Scanning confocal probe)，此影像探测镜头除了可侦测样品电性外，

还包含光纤导入的激发光源、即时CCD影像监测与筒共轭焦扫描，可在低温与高磁场下测量电信讯号与萤光影像特性。

最大挑战为筒身长达1600mm为一般显微镜10倍，因此像差均会被放大十倍，因此成像镜头组的设计与组装为成败关键。

依据现代显微镜来设计我们的组体架构，配合光学设计模拟软体ZEMAX来设计透镜组合，

解析度可达2.96um，MTF均在0.8以上，能量可达入瞳总强度76%。

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