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本文标题："材料科学以及材料微观结构观察金相显微镜"

发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------ 人浏览过-----时间：2013-7-13 5:6:52

材料科学以及材料微观结构观察金相显微镜

利用直流溅镀成功地从材料科学的角度切入，将材料结构、性质及制程间的相

互关系连结起来，达到掌控薄膜工艺制程，

进而改变薄膜微结构，经由改变溅镀原子入射通

量方向的斜向镀着技术，能产生分立柱状、

ㄑ型及多弯折形等具有不同显微形貌的薄膜，

其相互之间或与正向镀着的微结构及表面形貌皆因遮蔽效应而有所不同，

此外α与β关系上的研究显示，前人利用蒸镀法所获得tangentrule 及cosine rule 的两种理论，

本研究验证

此两种理论于低的工作气压下亦可适用于溅镀法

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