本文标题："全像显微技术可以实现准确量测试样的三维结构 "

全像显微技术可以实现准确量测试样的三维结构

数位全像显微系统重建微/纳米元件样本
三维结构之能力。这个所提出的光学系统利用一个物镜(Objective Lens)放大物体
的波前，同时在物镜后面引入一个补偿透镜(Offset Lens)并与前者形成共焦点架
构，借此实体地补偿因物镜所产生的二次式相位(Quadratic Phase)，即所谓的失
焦像差(Defocus Aberration)。我们利用Mach-Zehnder 干涉仪来实现任意步进相
位数位全像显微系统。由全像重建所引起的零阶和共轭干扰影像，将应用单次
曝光法及任意步进相位方法加以抑制。从数值重建物体的波前可得到相对的相
位分布，并利用Kreis 所提出的相位展开技术还原其原本的相位资讯。最后藉由
还原的物光相位，达到分析样本三维结构的目的

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