本文标题："3D激光微加工技术简介-表面微结构加工应用"

3D激光微加工技术简介-表面微结构加工应用

三维激光微加工

三维激光微加工(Femtosecond Laser Microfabrication)：
激光加工主要利用激光光与材料的交互作用，其过程取决于激光光与材料的特性，
激光光的特性包括波长、能量、功率、脉冲宽度、加工次数等，材料的特性包括种类与
材质，如金属、合金、玻璃等。

材料表面吸收激光光能量使温度升高，进而改变材料表面结构与性能，
造成破坏或剥离，若激光光瞬间能量够大，将使材料上升至气化温度。

由于激光脉冲宽度约为 0.1 皮秒(Picosecond，1 皮秒=10-12 秒)，远小于物质热传时间常数，
对邻近物质亦无任何损害，因此能够精准切除特定区域及深度之物质。

应用领域非常广泛，包括 LED 基材加工、平面显示器的玻璃加工、晶圆切割、光学模仁表面加工、精
密切割及钻孔、3D表面微结构加工等，在医学上，可提供特定物质做选择性波长之光
热效应医疗。

利用飞秒激光脉冲加工三维结构为研讨会探讨重点之一，对于能达到分子或原子解
析度的光学材料表面结构加工，是激光加工领域积极研究的目标。藉由光学荧光显微镜
(Optical Fluorescence Microscopy)可观测到单分子的分辨率，因显微镜可将入射光转变成
波长等级的光点(Spot)，当使用次皮秒(Sub-Picosecond)超短激光脉冲，可利用光与材料
的非线性特性调整加工位置的定位，这也使得激光三维结构加工进行纳米级领域范围，
有机会达到次百纳米(Sub-100nm)的分辨率，其关键在于必须能精准控制激光光能量的
传输与加工位置的精度

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