本文标题："高精度清晰测量用金相分析显微镜厂商-自动对焦"
显微照像的快速自动对焦技术，主要以解决
目前在 TFT-LCD 及彩色滤光片 (color filter, CF) 面板产业所使用的自动光
学检测机 (automatic optical inspection, AOI) 及激光修补机 (laser repair, LR)
所需的自动对焦问题为基础，提供ㄧ个快速、稳定、且可靠的显微照像快
速自动对焦技术。
我们依据光学成像原理以及影像处理的概念，使用快速傅立叶转换
(Fast Fourier Transform, FFT)、离散馀弦转换 (Discrete Cosine Transform,
DCT)、小波转换 (Discrete Wavelet Transform, DWT)、及理想高通滤波器
(Ideal high pass filter, IHPF)、巴特沃斯高通滤波器 (Butterworth high pass
filter, BHPF)、高斯高通滤波器 (Gaussian high pass filter, GHPF)、理想低通
滤波器 (Ideal low pass filter, ILPF)、巴特沃斯低通滤波器 (Butterworth low
pass filter, BLPF)、高斯低通滤波器 (Gaussian low pass filter, GLPF)等频率域
的滤波器、及空间域的滤波器ㄧ次差分平方和 (energy of gradient magnitude,
EOGM) 与二次差分平方和 (energy of image Laplacian, EOIL) 等技术来分
析显微影像的清晰程度。并将上述技术结合二次曲线近似、三次曲线近似、
与高斯曲线近似等对焦搜寻算法 (autofocus searching algorithm)，探讨其
移动间距、取样点数、对焦速度、及对焦稳定性与可靠度。为了达到快速、
稳定与可靠等特性，我们提出二种判定对焦量测准则优劣的准则：
(i) 杂讯的抵抗能力；
(ii) 计算复杂度；并提出二种判定对焦搜寻算法优劣的准则：
(i) 移动取像次数；(ii) 正确对焦的稳定性与可靠度。
我们认为对焦量测准则与对焦搜寻算法有显着的相关性，因此我们依据对焦量测准则的
杂讯抵抗能力、计算复杂度、及对焦搜寻算法所需的移动取像次数来比
较对焦量测准则；最后以大量的自动对焦实验来证实
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